1. 用途及使用范圍
本儀器用于測(cè)量260~10-5Pa范圍內(nèi)的真空度,熱偶部分真空測(cè)量范圍為260~10-1Pa,電離部分真空測(cè)量范圍為 10-2~10-6Pa。
2. 主要技術(shù)指標(biāo)
2.1 熱偶部分:
2.1.1 真空度測(cè)量范圍: 260~10-1Pa
2.1.2 加熱電流: 30mA±2.4mA
2.1.3 配用規(guī)管: ZJ—54D熱偶規(guī)管
2.2 電離部分:
2.2.1 真空度測(cè)量范圍: 10-1~10-6Pa
2.2.2 加速電壓: 225V±2%
2.2.3 陰極電壓: 25V±2%
2.2.4 發(fā)射電流: 100μA (10-1Pa) 5mA(10-2~10-6Pa)
2.2.5 微電流放大器測(cè)量誤差: <5%
2.2.6 除氣方式及自動(dòng)除氣定時(shí)時(shí)間: 焦耳除氣 10分鐘
2.3 使用條件:
2.3.1 工作電源: 交流220V±5% 50Hz
2.3.2 環(huán)境溫度及相對(duì)濕度: 0~35℃ <80%(25℃)
2.3.3 工作環(huán)境內(nèi)應(yīng)無(wú)強(qiáng)烈機(jī)械振動(dòng)和外加磁場(chǎng)
3. 結(jié)構(gòu)原理
3.1 本儀器由二大部分組成:
3.1.1 熱偶部分
熱偶部分是根據(jù)氣體熱傳導(dǎo)在低真空條件下與氣體壓強(qiáng)有關(guān)的原理工作的。在熱偶規(guī)管內(nèi)封裝了一根用于加熱的電阻絲及一對(duì)熱偶。測(cè)量時(shí),一般是以一恒定電流去加熱電熱絲。由于在不同真空度條件下,加熱絲通過(guò)氣體傳遞的熱量不同,所以電阻絲上的溫度是真空度的函數(shù)。這樣,熱電偶輸出的熱電勢(shì)也是真空度的函數(shù)。測(cè)量電路由加熱電流穩(wěn)定電路和熱偶電勢(shì)測(cè)量電路組成,前者送出一恒定電流到規(guī)管加熱絲。后者測(cè)量規(guī)管送出的熱偶電勢(shì)。放大器輸出電壓由表頭指示即可讀得真空度的數(shù)值。
3.1.2 電離部分
該部分由穩(wěn)發(fā)射電流電路,加速極電壓穩(wěn)定電路,微電流放大電路以及規(guī)管除氣電源,規(guī)管保護(hù)電路五部分組成。其原理框圖如圖一所示:
圖1. 電離部分電路框圖
該部分電路提供了電離規(guī)工作所**須的電源及離子流測(cè)量電路
儀器前面板如圖二所示
圖2. 儀器前面板示意圖
圖中
1. 加熱電流調(diào)節(jié)旋鈕
2. 熱偶部分顯示表頭
3. 離子流測(cè)量倍率選擇旋鈕
4. 總電源開(kāi)關(guān)
5. 熱偶加熱電流—真空度顯示轉(zhuǎn)換開(kāi)關(guān)
6. 電離部分規(guī)管除氣開(kāi)關(guān)
7. 電離部分電源開(kāi)關(guān)
8. 電離部分顯示表頭
儀器后面板如圖3所示:
圖3. 儀器后面板示意圖
圖中
1. 熱偶規(guī)管聯(lián)接電纜插座
2. 電源插座
3. 電離規(guī)管聯(lián)接電纜插座
4. 收集極插座
4. 使用方法
4.1 規(guī)管安裝
將規(guī)管封接于真空系統(tǒng)。電離規(guī)管應(yīng)垂直安裝。如因安裝位置影響不能垂直安裝則規(guī)管燈絲平面應(yīng)與重力方向平行。
4.2 熱偶部分使用方法
4.2.1 加熱電流調(diào)節(jié)——調(diào)整加熱電流有二種方法:
4.2.1.1 按規(guī)管給出的電流調(diào)節(jié):
按住面板上的熱偶加熱電流—真空度顯示轉(zhuǎn)換開(kāi)關(guān),調(diào)節(jié)“加熱電流調(diào)節(jié)”旋鈕使電流為規(guī)管給定的電流。
4.2.1.2 調(diào)高真空時(shí)的滿度值: 將規(guī)管抽至<10-2Pa高真空,調(diào)節(jié)“加熱電流調(diào)節(jié)”旋鈕,使指針指向滿度。再按下熱偶加熱電流—真空度顯示轉(zhuǎn)換開(kāi)關(guān),此時(shí)電表指示值即為加熱電流值。
一般情況下,加熱電流為30mA 左右。工作時(shí)若需了解儀器工作情況,可按下熱偶加熱電流—真空度顯示轉(zhuǎn)換開(kāi)關(guān),若表頭顯示為30mA±1.5mA則視為正常。
4.2.2 真空度測(cè)量
將規(guī)管與儀器聯(lián)接好后,開(kāi)啟電源,表頭指示即為真空度。
4.3 電離部分使用方法
4.3.1 本儀器發(fā)射電流及放大器的零點(diǎn)及滿度出廠時(shí)均已調(diào)整完畢,用戶使用時(shí)不需調(diào)整,使用極為方便。
4.3.2 測(cè)量真空度:
開(kāi)機(jī)后可將電離規(guī)管離子流測(cè)量倍率選擇開(kāi)關(guān)撥向發(fā)射電流檔,觀察表頭應(yīng)指向中間紅線附近。然后選擇合適的測(cè)量倍率,表頭上指示的即為真空度數(shù)值。
4.3.3 規(guī)管除氣
當(dāng)真空度優(yōu)于10-3Pa時(shí),可根據(jù)需要對(duì)規(guī)管除氣。具體步驟如下:
4.3.3.1 按下除氣開(kāi)關(guān),儀器自動(dòng)對(duì)規(guī)管除氣10分鐘。時(shí)間到,自動(dòng)停止除氣。
4.3.3.2 如中途需停止除氣,可再次按下除氣開(kāi)關(guān),儀器停止對(duì)規(guī)管除氣。
4.3.3.3 為了防止除氣時(shí)因?yàn)橐?guī)管大量放氣造成過(guò)量程,使保護(hù)電路動(dòng)作,切斷電離部分供電電源,可在啟動(dòng)除氣前,首先降低測(cè)量量程幾檔。
4.4 電離部分過(guò)量程保護(hù)
當(dāng)離子流大于滿量程離子流4.5倍時(shí),儀器自動(dòng)切斷電離部分供電電源。重新啟動(dòng)前應(yīng)首先檢查量程選擇是否合適,然后關(guān)、開(kāi)電離開(kāi)關(guān)一次,儀器恢復(fù)正常工作。
5. 儀器成套性
5.1 FH-1 復(fù)合真空測(cè)量?jī)x 一臺(tái)
5.2 ZJ—54D 熱偶規(guī)管 一支
5.3 ZJ-2電離規(guī)管 一支
5.4 規(guī)管電纜線 三根
5.5 電源線 一根
6.維護(hù),儲(chǔ)存和運(yùn)輸
6.1 本設(shè)備在使用過(guò)程中**須正確操作和維護(hù),并防止灰塵與潮氣侵入。
6.2 在長(zhǎng)期使用后應(yīng)作內(nèi)部檢查,**內(nèi)部所積塵污。
6.3 設(shè)備應(yīng)存放在環(huán)境溫度為10~35 ℃,相對(duì)濕度<80%和無(wú)腐蝕性氣體及油蒸汽, 強(qiáng)烈電磁場(chǎng)與機(jī)械振動(dòng),并具有良好通風(fēng)的室內(nèi)。
6.4 運(yùn)輸時(shí)設(shè)備應(yīng)裝在具有防潮袋的牢固運(yùn)輸箱內(nèi),包裝好的設(shè)備與箱壁間應(yīng)放有清潔干燥的防振物,運(yùn)輸箱外應(yīng)標(biāo)有“向上”,“小心輕放”等標(biāo)記。