1. 緒論
ZFH-4復(fù)合真空測(cè)量?jī)x是上海唯科電氣有限公司研制的新一代智能復(fù)合真空測(cè)量?jī)x,配用ZJ-54D熱偶規(guī)管及ZJ-2或ZJ-27真空電離規(guī)管,能測(cè)量267~10-6Pa之間的真空度。
由于在儀器中引入了單片微機(jī),ZFH-4復(fù)合真空測(cè)量?jī)x具有許多**性能:
采用單片微機(jī)進(jìn)行數(shù)據(jù)處理,真空度讀數(shù)數(shù)字顯示,測(cè)量結(jié)果直觀、明確、讀數(shù)方便。
電離規(guī)管的除氣可以自動(dòng)或手動(dòng)進(jìn)行。
量程自動(dòng)切換。當(dāng)真空度下降,**出電離規(guī)管測(cè)量范圍時(shí),儀器可以自動(dòng)停止電離部分工作,顯示熱偶部分測(cè)量數(shù)據(jù)。當(dāng)真空度提高時(shí),則可自動(dòng)啟動(dòng)電離部分工作。采用帶有反饋環(huán)節(jié)的D/A電路控制熱偶加熱電流的大小,熱偶加熱電流可以數(shù)字設(shè)定,簡(jiǎn)單、方便、直觀、準(zhǔn)確。
真空度單位自動(dòng)轉(zhuǎn)換。
具有多種測(cè)量顯示模式,顯示方式靈活多樣。
帶有三個(gè)繼電器觸點(diǎn),動(dòng)作真空度可以數(shù)字設(shè)定。
當(dāng)真空度高于10-2Pa時(shí),可以自動(dòng)標(biāo)定熱偶規(guī)管的加熱電流。
儀器帶有RS-232和RS-485串行數(shù)據(jù)通訊接口,與上位計(jì)算機(jī)通訊方便。
由于采用單片微機(jī)作為儀器的控制單元。ZFH-4復(fù)合真空測(cè)量?jī)x除了上述特點(diǎn)外,它的另一個(gè)顯著特點(diǎn)是軟件可修改性強(qiáng),可以在基本不動(dòng)或少動(dòng)儀器硬件結(jié)構(gòu)的情況下,修改儀器功 能,創(chuàng)造出功能全新的儀器。
2. .主要技術(shù)條件:
2.1 熱偶部分:
2.1.1 真空度測(cè)量范圍: 101Kpa~0.1Pa
測(cè)量誤差: <±20%(267~1Pa)
2.1.2 加熱電流調(diào)節(jié)范圍: 30mA±2.4mA 由數(shù)字設(shè)定
調(diào)節(jié)精度: <±0.5%±2字
2.1.3 配用規(guī)管: ZJ-54D 熱偶規(guī)管
2.2 電離部分:
2.2.1 真空度測(cè)量范圍: 1~6.7X10-6Pa
測(cè)量誤差: ±20%
2.2.2 電離規(guī)管發(fā)射電流: 5mA±3%(10-1~10-6 Pa)
100μA±3%(1~0.1Pa)
2.2.3 柵極電壓: 225V±1%
2.2.4 自動(dòng)除氣啟動(dòng)真空度: 10-3Pa
2.2.5 自動(dòng)除氣時(shí)間: 10分鐘
2.2.6 配用規(guī)管: ZJ-2或ZJ-27
2.3 控制觸點(diǎn):
2.3.1 控制觸點(diǎn)數(shù): 3
2.3.2 控制觸點(diǎn)容量: 交流 220V/1A
2.4 使用環(huán)境:
2.4.1 環(huán)境溫度: +5~35度
2.4.2 相對(duì)濕度: <85%(25度 )
ZFH-4復(fù)合真空測(cè)量?jī)x是上海唯科電氣有限公司研制的新一代智能復(fù)合真空測(cè)量?jī)x,配用ZJ-54D熱偶規(guī)管及ZJ-2或ZJ-27真空電離規(guī)管,能測(cè)量267~10-6Pa之間的真空度。
由于在儀器中引入了單片微機(jī),ZFH-4復(fù)合真空測(cè)量?jī)x具有許多**性能:
采用單片微機(jī)進(jìn)行數(shù)據(jù)處理,真空度讀數(shù)數(shù)字顯示,測(cè)量結(jié)果直觀、明確、讀數(shù)方便。
電離規(guī)管的除氣可以自動(dòng)或手動(dòng)進(jìn)行。
量程自動(dòng)切換。當(dāng)真空度下降,**出電離規(guī)管測(cè)量范圍時(shí),儀器可以自動(dòng)停止電離部分工作,顯示熱偶部分測(cè)量數(shù)據(jù)。當(dāng)真空度提高時(shí),則可自動(dòng)啟動(dòng)電離部分工作。采用帶有反饋環(huán)節(jié)的D/A電路控制熱偶加熱電流的大小,熱偶加熱電流可以數(shù)字設(shè)定,簡(jiǎn)單、方便、直觀、準(zhǔn)確。
真空度單位自動(dòng)轉(zhuǎn)換。
具有多種測(cè)量顯示模式,顯示方式靈活多樣。
帶有三個(gè)繼電器觸點(diǎn),動(dòng)作真空度可以數(shù)字設(shè)定。
當(dāng)真空度高于10-2Pa時(shí),可以自動(dòng)標(biāo)定熱偶規(guī)管的加熱電流。
儀器帶有RS-232和RS-485串行數(shù)據(jù)通訊接口,與上位計(jì)算機(jī)通訊方便。
由于采用單片微機(jī)作為儀器的控制單元。ZFH-4復(fù)合真空測(cè)量?jī)x除了上述特點(diǎn)外,它的另一個(gè)顯著特點(diǎn)是軟件可修改性強(qiáng),可以在基本不動(dòng)或少動(dòng)儀器硬件結(jié)構(gòu)的情況下,修改儀器功 能,創(chuàng)造出功能全新的儀器。
2. .主要技術(shù)條件:
2.1 熱偶部分:
2.1.1 真空度測(cè)量范圍: 101Kpa~0.1Pa
測(cè)量誤差: <±20%(267~1Pa)
2.1.2 加熱電流調(diào)節(jié)范圍: 30mA±2.4mA 由數(shù)字設(shè)定
調(diào)節(jié)精度: <±0.5%±2字
2.1.3 配用規(guī)管: ZJ-54D 熱偶規(guī)管
2.2 電離部分:
2.2.1 真空度測(cè)量范圍: 1~6.7X10-6Pa
測(cè)量誤差: ±20%
2.2.2 電離規(guī)管發(fā)射電流: 5mA±3%(10-1~10-6 Pa)
100μA±3%(1~0.1Pa)
2.2.3 柵極電壓: 225V±1%
2.2.4 自動(dòng)除氣啟動(dòng)真空度: 10-3Pa
2.2.5 自動(dòng)除氣時(shí)間: 10分鐘
2.2.6 配用規(guī)管: ZJ-2或ZJ-27
2.3 控制觸點(diǎn):
2.3.1 控制觸點(diǎn)數(shù): 3
2.3.2 控制觸點(diǎn)容量: 交流 220V/1A
2.4 使用環(huán)境:
2.4.1 環(huán)境溫度: +5~35度
2.4.2 相對(duì)濕度: <85%(25度 )