1. 緒論
ZFH-5復(fù)合**高真空測量儀是上海唯科電氣有限公司研制的新一代智能復(fù)合真空測量儀,配用ZJ-54D熱偶規(guī)管及ZJ-12(B-A)真空電離規(guī)管,能測量267~1X10-8Pa之間的真空度。
由于在儀器中引入了單片微機,ZFH-5復(fù)合**高真空測量儀具有許多**性能:
采用單片微機進行數(shù)據(jù)處理,真空度讀數(shù)數(shù)字顯示,測量結(jié)果直觀、明確、讀數(shù)方便。
電離規(guī)管的除氣可以自動或手動進行。
量程自動切換。當(dāng)真空度下降,**出電離規(guī)管測量范圍時,儀器可以自動停止電離部分工作,顯示熱偶部分測量數(shù)據(jù)。當(dāng)真空度提高時,則可自動啟動電離部分工作。
采用帶有反饋環(huán)節(jié)的D/A電路控制熱偶加熱電流的大小,熱偶加熱電流可以數(shù)字設(shè)定,簡單、方便、直觀、準(zhǔn)確。
真空度單位自動轉(zhuǎn)換。
具有多種測量顯示模式,顯示方式靈活多樣。
帶有三個繼電器觸點,動作真空度可以數(shù)字設(shè)定。
當(dāng)真空度高于10-2Pa時,可以自動標(biāo)定熱偶規(guī)管的加熱電流。
儀器帶有RS-232或RS-485串行數(shù)據(jù)通訊接口,與上位計算機通訊方便。
由于采用單片微機作為儀器的控制單元。ZFH-5復(fù)合**高真空測量儀除了上述特點外,它的另一個顯著特點是軟件可修改性強,可以在基本不動或少動儀器硬件結(jié)構(gòu)的情況下,修改儀器功 能,創(chuàng)造出功能全新的儀器。
2. .主要技術(shù)條件:
2.1 熱偶部分:
2.1.1 真空度測量范圍: 101KPa~0.1Pa
測量誤差: 267Pa~1Pa <±20%
2.1.2 加熱電流調(diào)節(jié)范圍: 30mA±2.4mA由數(shù)字設(shè)定
調(diào)節(jié)精度: <±0.5%±2字
2.1.3 配用規(guī)管: ZJ-54D 熱偶規(guī)管
2.2 電離部分:
2.2.1 真空度測量范圍: 10~1X10-8Pa
測量誤差: ±20%
2.2.2 電離規(guī)管發(fā)射電流: 400A±3%(10-1~10-7Pa)
4mA±3%(10-8Pa)
2.2.3 柵極電壓: 200V±1%
2.2.4 除氣啟動真空度: 10-3Pa
2.2.5 除氣時間: 10分鐘
2.2.6 配用規(guī)管: ZJ-12
2.3 控制觸點:
2.3.1 控制觸點數(shù): 3
2.3.2 控制觸點容量: 交流 220V/1A
2.4 使用環(huán)境:
2.4.1 環(huán)境溫度: +5~35度
2.4.2 相對濕度: <85%(25度 )