ZY-1壓阻規(guī)--熱偶規(guī)復(fù)合真空測(cè)量?jī)x在ZO-2 熱偶真空測(cè)量?jī)x基礎(chǔ)上增加了一路壓阻規(guī)管,用于測(cè)量101kPa~200Pa之間的真空度。本儀器可同時(shí)測(cè)量?jī)陕氛婵斩?,其中真空?由熱偶規(guī)管1和壓阻規(guī)管分段復(fù)合測(cè)量。
1 . 主要技術(shù)指標(biāo)
1.1 測(cè)量范圍: 101kPa~100 Pa ±10% (壓阻規(guī)管)
200~1 Pa ± 20%(熱偶規(guī)管)
1~0.1 Pa ± 50%(熱偶規(guī)管)
1.2 配用規(guī)管: ZJ—54D 熱偶規(guī)管
YZG—15A 壓阻規(guī)管
1.3 電源電壓: 交流220V 50Hz
1.4 使用環(huán)境: 5~30℃ 濕度 < 80%
1.5 外形尺寸: 321(w)X255(h)X380(D)mm3
開(kāi)孔尺寸: 300(w)X220(h)mm2
2. 工作原理和使用方法
2.1 工作原理:
本儀器熱偶規(guī)管采用定流方式工作。工作電流可以數(shù)字設(shè)定。可以自動(dòng)調(diào)整**滿度和高真空時(shí)的滿度加熱電流。真空度的單位自動(dòng)轉(zhuǎn)換。
為了提高101kPa~200Pa測(cè)量精度,同時(shí)避免氣體種類對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響,本儀器對(duì)真空室1復(fù)合了壓阻規(guī)管,當(dāng)真空室1的真空度處于上述范圍時(shí),壓阻規(guī)管工作,高于上述范圍時(shí),熱偶規(guī)管工作。
壓阻真空規(guī)管是利用單晶硅的壓阻效應(yīng)制成的一種力敏器件。它以單晶硅為基體,按特定晶面,根據(jù)不同的受力形式分別加工成彈性應(yīng)變?cè)趶椥詰?yīng)變?cè)倪m當(dāng)位置,用集成電路工藝技術(shù)擴(kuò)散四個(gè)等值電阻,組成惠斯登電橋。當(dāng)不受壓力作用時(shí),電橋處于平衡狀態(tài);當(dāng)受到壓力作用時(shí),一對(duì)橋臂電阻變大,另一對(duì)變小,電橋失去平衡。若對(duì)電橋加一恒定電流(電壓),便輸出對(duì)應(yīng)于所加壓力的電壓信號(hào),從而達(dá)到測(cè)量氣體壓力的目的。同時(shí),由于壓力測(cè)量取決于單晶硅基片的形變程度,測(cè)量結(jié)果與氣體種類無(wú)關(guān)。
由于這種傳感器的感受、**和檢測(cè)三部分同由一個(gè)元件實(shí)現(xiàn),沒(méi)有中間轉(zhuǎn)換環(huán)節(jié),所以不重復(fù)性和遲滯等誤差極小。同時(shí)由于硅單晶本身剛度很大,形變很小,保證了良好的線性度,因此綜合精度**。
本儀器提供了壓阻真空規(guī)管工作所**需的恒流源,并接收規(guī)管送出的壓力信號(hào)。所有的調(diào)零、調(diào)滿度等均由軟件完成,并且用軟件對(duì)規(guī)管電流源的微小變化進(jìn)行補(bǔ)償,擴(kuò)大了規(guī)管的測(cè)量范圍。使用**方便。