INFICON公司生產(chǎn)的HPG400型高壓強熱電離皮拉尼真空計將高壓強熱電離與皮拉尼規(guī)管綜合在一個小型、輕便與經(jīng)濟的規(guī)管中，測量壓強從2×10-6至1000毫巴(1.5×10-6至750乇)。HPG400提供**的重復(fù)性和再現(xiàn)性壓強測量，用于**的濺射過程的壓強控制。

用戶**性
◆  HPG400節(jié)省成本和設(shè)備空間，降低真空測量的安裝與設(shè)置的復(fù)雜性
◆  高壓強熱電離真空計1×10-5毫巴為要求高的過車工控制提供**、**的壓強測量
◆  用戶可選的熱電離發(fā)射在5×10-2至1毫巴之間起始工作
◆  皮拉尼聯(lián)鎖保護熱陰極防止它過早燒毀
◆  高真空皮拉尼自動調(diào)整，減少操作人員的干預(yù)
◆  備有可選的圖形顯示器和現(xiàn)場總線接口

典型應(yīng)用  
◆  半導(dǎo)體制作中濺射工藝應(yīng)用，電子學(xué)的媒體工業(yè)
◆  工業(yè)鍍膜
◆  在低至**高真空范圍中系統(tǒng)的一般真空測量和控制

訂購資料

1）不帶液晶顯示器

附件