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MPG400,MPG401冷陰極和皮拉尼的復(fù)合真空規(guī)

INFICON的冷陰極和皮拉尼的復(fù)合真空規(guī) MPG400和MPG401, 測量范圍從 5x10-9毫巴至**壓(3.8 x10-9乇至**壓)。將兩種測量方式組合在一個(gè)具有對(duì)數(shù)模擬輸出的小型單元內(nèi),大大地降低了安裝,設(shè)置和集成的復(fù)雜性。

MPG400冷陰極和皮拉尼的復(fù)合真空規(guī)的詳細(xì)介紹


優(yōu)點(diǎn): 
■ 復(fù)合真空規(guī)—冷陰極與皮拉尼
■ 寬的壓強(qiáng)測量范圍從5X10-9毫巴至**壓
■ 無可燒毀的燈絲
■ **的引燃功能
■ 易清洗
■ FPM或金屬密封的饋入件
■ 高壓加上時(shí)LED指示燈亮
■ 對(duì)數(shù)模擬輸出訊號(hào)
應(yīng)用: 
■ 高真空壓強(qiáng)**
■  蒸發(fā)和濺射系統(tǒng)的壓強(qiáng)測量
■ 一般真空測量和控制,從中至高真空范圍

 

技術(shù)參數(shù):
 測量范圍 (空氣, N2) 毫巴(乇) 5 x 10-9… 1000 (3.8 x 10-9… 760)
精度 (N2) 1 x 10-8 … 100毫巴 % 讀值 ≈±30%
重復(fù)性1 x 10-8 … 100毫巴 % 讀值 ≈±5%
安裝方向   **
允許壓強(qiáng) 巴(**) ≤10 (限于惰性氣體)
允許溫度
工作 (室溫)
貯存 
烘烤1)
燈絲溫度 (皮拉尼)
°C
°C
°C
°C
+5 … +55
–40 … +65
150
120
電源電壓    
在規(guī)管上 V DC +15 … +30
在供電單元上, **大電纜長度 2) V DC +16 … +30
紋波 Vpp ≤1
功耗 W ≤2
連接保險(xiǎn)絲 AT ≤1
輸出訊號(hào)(測量訊號(hào))    
電壓范圍 V 0 … +10.5
測量范圍 V +1.82 … +8.6
電壓與壓強(qiáng)的關(guān)系   對(duì)數(shù), 0.6 V/量級(jí)
誤差訊號(hào) V <0.5 (無電源)
  V >9.5 (皮拉尼傳感器, 燈絲斷裂)
輸出阻抗   2 x 10
**小負(fù)載阻抗 k 10, 短路保護(hù)
響應(yīng)時(shí)間      p > 10毫巴 -6 毫秒 <10
p = 10-8 毫巴 毫秒 ≈1000
規(guī)管標(biāo)識(shí) k? 85, 參考電源公共點(diǎn)
狀態(tài)    
僅皮拉尼模式 V 0 (低)
復(fù)合皮拉尼 / 冷陰極模式 V 15 … 30 (高)
指示燈 LED 綠色 高壓on
電氣連接   FCC 68 設(shè)備連接件, 8腳,凹型
傳感器電纜   8芯,加屏蔽
電纜長度 ≤50 (8 x 0.14 毫米2)
工作電壓 千伏 ≤3.3
工作電流 微安 ≤500
暴露于真空的材料    不銹鋼, Al2O3, FPM75,    Mo, Ni, Au, W 不銹鋼, Al2O3, Ag, Cu, Sn  Mo, Ni, Au, W
內(nèi)容積 厘米3 ≈20
重量    
DN 25 ISO-KF ≈700 ≈730
DN 40 ISO-KF ≈720 ≈750
DN 40 CF-F ≈980 ≈1010
保護(hù)級(jí)別   IP 40
標(biāo)準(zhǔn)   EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61010-1

公司簡介

上海德義機(jī)電股份有限公司(前身為成立于1997年的上海唯科電氣有限公司,由市區(qū)搬遷至松江區(qū)。公司股份名稱:N德義,代碼:300318)

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