INFICON 皮拉尼電容膜片真空計(jì) (PCG55x) 將 INFICON 陶瓷電容膜片傳感器技術(shù)與皮拉尼的優(yōu)點(diǎn)綜合在單個產(chǎn)品中.測量范圍在 10 毫巴與**壓之間, 電容膜片技術(shù)為**的壓強(qiáng)測量提供與氣體類型無關(guān)的高**測量值. PCG55x 還具有各種特點(diǎn), 是各種高要求真空測量應(yīng)用中的理想選擇
優(yōu)點(diǎn)
■ 10 毫巴以上與氣體類型無關(guān) – 允許用**混合氣體安全放空
■ 在**壓下高精度和重復(fù)性 – 用于**的**壓強(qiáng)檢測
■ 快速**壓檢測 – 無需等待時間和縮短過程周期
■ **的安裝方位 – 提供工具結(jié)構(gòu)的工程自由度
■ 配有鎢 (PCG550) 或鎳 (PCG552) 燈絲或全陶瓷涂覆的 (PCG554) 傳感器單元用于高腐蝕性的應(yīng)用中
■ 易于**換插頭和將傳感器單元用于機(jī)載校準(zhǔn)數(shù)據(jù) – 保證**再現(xiàn)性和低的擁有成本
■ 合格的輸出訊號, 便于集成
■ 可選的**壓開關(guān), 顯示器和數(shù)字接口
■ 全部型號有診斷口
用途
■ 自鎖控制
■ 前級真空壓強(qiáng)測量
■ 真空系統(tǒng)中的安全回路
■ 在中和粗真空范圍內(nèi)的一般真空測量和控制
CDG采用直接測量單位面積力的原理,避免了過程時間的延遲。這個精度與響應(yīng)時間的改進(jìn)消除了在抽空和放空過程中的過沖現(xiàn)象。PCG裝備有INFICON**的皮拉尼技術(shù),在傳感器的整個測量范圍內(nèi)產(chǎn)生優(yōu)異的響應(yīng)時間特性,提高產(chǎn)量和生產(chǎn)率。