優(yōu)點(diǎn):
■ 測量范圍廣:5 X 10 -7~1 Pa
■ 全金屬冷陰極陶瓷傳感器
■ 新型幾何電極提供了極好的點(diǎn)火性能
■ 降低等離子點(diǎn)火高電壓和鈦陰極板污染的危險(xiǎn),即使在氬濺射過程中也一樣
■ 陽極環(huán)和鈦陰極可清洗,**換容易
■ **小磁場強(qiáng)度測量
■ LED指示燈電源和等離子點(diǎn)火
■ 對數(shù)模擬輸出信號
■ Fieldbus總線接口(Profibus DB, DeviceNet),集成到真空系統(tǒng)的網(wǎng)絡(luò)通信