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FH-2熱偶電離真空計

 

1. 用途及使用范圍

本儀器用于測量260108Pa范圍的真空度。熱偶部分測量范圍為260101PaBA規(guī)部分真空度測量范圍為101108Pa。

2. 主要技術(shù)指標(biāo):

2.1 熱偶部分:

2.1.1 真空度測量范圍             260101Pa

2.1.2 加熱電流:                  30mA±2.4mA

2.1.3 配用規(guī)管:                  ZJ54D熱偶規(guī)管

2.2 電離部分:

2.2.1 真空度測量范圍:             101108Pa

2.2.2 加速電壓:                 250V± 2%

2.2.3 陰極電壓:                  100V± 2%

2.2.4 發(fā)射電流:                  1mA   ( 101107Pa)

                                          10mA(108Pa)

2.2.5 微電流放大器測量誤差: <5%

2.2.6 除氣方式:                  轟擊除氣,功率≤60W

2.2.7 配用規(guī)管:                  ZJ6

2.3 儀器使用條件:

2.3.1 工作電源:                 交流220V±5%      50Hz

2.3.2 環(huán)境溫度:                  0 35

2.3.3 相對濕度:                  <80%(25)

2.3.4 工作環(huán)境內(nèi)應(yīng)無強烈機械振動和外加磁場。

3 結(jié)構(gòu)原理

本儀器由二大部分組成:

3.1 熱偶部分

熱偶部分是根據(jù)氣體熱傳導(dǎo)在低真空條件下與氣體壓強有關(guān)的原理工作的,在熱偶規(guī)管內(nèi)封裝了一根用于加熱的電阻絲及一對熱偶。測量時,一般是以一恒定電流去加熱電熱絲。由于在不同真空度條件下,加熱絲通過氣體傳遞的熱量不同,所以電阻絲上的溫度是真空度的函數(shù),這樣,熱電偶輸出的熱電勢也是真空度的函數(shù)。測量電路由加熱電流穩(wěn)定電路和熱偶電勢測量電路組成。前者送出一恒定電流到規(guī)管加熱絲,后者測量規(guī)管送出的熱偶電勢,放大器輸出電壓由表頭指示即可讀得真空度的數(shù)值

3.2 電離部分

該部分由穩(wěn)發(fā)射電流電路,加速極電壓穩(wěn)定電路,微電流放大電路以及規(guī)管除氣電源,規(guī)管保護電路5部分組成。其原理框圖如圖一所示

                                                                                              

1。 電離部分原理框圖

該部分電路提供了BA規(guī)工作所**須的電源及離子流測量電路

儀器前面板如圖二所示

2 儀器前面板示意圖

圖中:

1. 加熱電流調(diào)節(jié)旋鈕。

2. 除氣電流調(diào)節(jié)旋鈕

3. 熱偶部分顯示表頭

4. 電離部分顯示表頭

5. 測量倍率選擇旋鈕

6. 總電源開關(guān)

7. 熱偶加熱電流—真空度顯示轉(zhuǎn)換開關(guān)

8. 電離部分除氣開關(guān)

9. 電離部分電源開關(guān)

儀器后面板如圖三所示

3. 儀器后面板示意圖

圖中

1. 電離規(guī)管聯(lián)接電纜插座熱偶

2. 收集極插座

3. 熱偶規(guī)管聯(lián)接電纜插座

4. 電源插座

4 使用方法

4.1 規(guī)管安裝

將規(guī)管封接于真空系統(tǒng)。電離規(guī)管應(yīng)垂直安裝。如因安裝位置影響不能垂直安裝則規(guī)管燈絲平面應(yīng)與重力方向平行。

4.2 熱偶部分使用方法

4.2.1加熱電流調(diào)節(jié)——調(diào)整加熱電流有二種方法:

4.2.1.1 按規(guī)管給出的電流調(diào)節(jié):

按住面板上的熱偶加熱電流—真空度顯示轉(zhuǎn)換開關(guān),調(diào)節(jié)“加熱電流調(diào)節(jié)”旋鈕使電流為規(guī)管給定的電流。

4.2.1.2 調(diào)高真空時的滿度值:

將規(guī)管抽至<10-2Pa高真空,調(diào)節(jié)面板上的“加熱電流調(diào)節(jié)”旋鈕,使表頭指針指向滿度。再按下熱偶加熱電流—真空度顯示轉(zhuǎn)換開關(guān),此時電表指示值即為加熱電流值。

一般情況下,加熱電流為30mA 左右。工作時若需了解儀器工作情況,可按下電流—測量開關(guān),如該值為30mA±1.5mA則視為正常。

4.2.2 真空度測量

將規(guī)管與儀器聯(lián)接好后,電源開啟后,表頭指示即為真空度。

4.3 電離部分使用方法

本儀器發(fā)射電流及放大器的零點及滿度出廠時均已調(diào)整完畢,用戶使用時不需調(diào)整,使用極為方便。

4.3.1 測量真空度:

開機后可將電離規(guī)管離子流測量倍率選擇開關(guān)撥向發(fā)射電流檔,觀察表頭應(yīng)指向中間紅線附近。然后選擇合適的測量倍率,表頭上指示的即為真空度數(shù)值。

4.3.2 規(guī)管除氣

當(dāng)真空度優(yōu)于103Pa時,可根據(jù)需要對規(guī)管除氣。具體步驟如下:

4.3.2.1 將電離部分測量倍率開關(guān)拔向“發(fā)射電流”檔;

4.3.2.2 把“除氣電流調(diào)節(jié)”旋鈕按逆時針方向旋到底;

4.3.2.3 按下除氣開關(guān),除氣開關(guān)指示燈亮;

4.3.2.4 緩慢旋轉(zhuǎn)“除氣電流調(diào)節(jié)”旋鈕,觀察加速極轟擊至暗紅為止。電流一般在60mA左右(表頭指示在30mA,即60%左右,除氣時表頭滿度為100mA),**大不要**過80mA(表頭指示在40mA,即80%左右)。注意掌握除氣時間,防止規(guī)管暴裂(一般23分鐘,時間不夠可以多次除氣)。

停止除氣時應(yīng)先把“除氣電流調(diào)節(jié)”旋鈕按逆時針方向旋到底,再次按下除氣開關(guān),除氣開關(guān)指示燈滅,然后再把測量倍率開關(guān)拔向合適的量程檔。

4.4 電離部分過量程保護

當(dāng)離子流大于滿量程離子流4倍時,儀器自動切斷電離部分電源。重新啟動前應(yīng)首先檢查量程選擇是否合適。然后開、關(guān)電離開關(guān)一次,儀器恢復(fù)正常工作。

5 儀器成套性

5.1 FH2復(fù)合**高真空測量儀                一臺

5.2 ZJ 54D 熱偶規(guī)管                            一支

5.3 ZJ6電離規(guī)管                          一支

5.4 規(guī)管電纜線                                      三根

5.5 電源線                                    一根

6 維護、儲存和運輸

6.1 本設(shè)備在使用過程中**須正確操作和維護,并防止灰塵與潮氣侵入

6.2 在長期使用后應(yīng)作內(nèi)部檢查,**內(nèi)部所積塵污。

6.3 設(shè)備應(yīng)存放在環(huán)境溫度為+1035 ℃,相對濕度<80%和無腐蝕性氣體及油蒸汽,無強烈電磁場與機械振動,并具有良好通風(fēng)的室內(nèi)。

6.4 運輸時設(shè)備應(yīng)裝在具有防潮袋的牢固運輸箱內(nèi),包裝好的設(shè)備與箱壁間應(yīng)放有清潔干燥的防振物,運輸箱外應(yīng)標(biāo)有“向上”,“小心輕放”等標(biāo)記。

公司簡介

上海德義機電股份有限公司(前身為成立于1997年的上海唯科電氣有限公司,由市區(qū)搬遷至松江區(qū)。公司股份名稱:N德義,代碼:300318)

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