1. 用途及使用范圍
本儀器用于測量260~10-8Pa范圍的真空度。熱偶部分測量范圍為260~10-1Pa。BA規(guī)部分真空度測量范圍為10-1~10-8Pa。
2. 主要技術(shù)指標(biāo):
2.1 熱偶部分:
2.1.1 真空度測量范圍 260~10-1Pa
2.1.2 加熱電流: 30mA±2.4mA
2.1.3 配用規(guī)管: ZJ—54D熱偶規(guī)管
2.2 電離部分:
2.2.1 真空度測量范圍: 10-1~10-8Pa
2.2.2 加速電壓: 250V± 2%
2.2.3 陰極電壓: 100V± 2%
2.2.4 發(fā)射電流: 1mA ( 10-1~10-7Pa)
10mA(10-8Pa)
2.2.5 微電流放大器測量誤差: <5%
2.2.6 除氣方式: 轟擊除氣,功率≤60W
2.2.7 配用規(guī)管: ZJ—6
2.3 儀器使用條件:
2.3.1 工作電源: 交流220V±5% 50Hz
2.3.2 環(huán)境溫度: 0 ~35℃
2.3.3 相對濕度: <80%(25℃)
2.3.4 工作環(huán)境內(nèi)應(yīng)無強烈機械振動和外加磁場。
3 結(jié)構(gòu)原理
本儀器由二大部分組成:
3.1 熱偶部分
熱偶部分是根據(jù)氣體熱傳導(dǎo)在低真空條件下與氣體壓強有關(guān)的原理工作的,在熱偶規(guī)管內(nèi)封裝了一根用于加熱的電阻絲及一對熱偶。測量時,一般是以一恒定電流去加熱電熱絲。由于在不同真空度條件下,加熱絲通過氣體傳遞的熱量不同,所以電阻絲上的溫度是真空度的函數(shù),這樣,熱電偶輸出的熱電勢也是真空度的函數(shù)。測量電路由加熱電流穩(wěn)定電路和熱偶電勢測量電路組成。前者送出一恒定電流到規(guī)管加熱絲,后者測量規(guī)管送出的熱偶電勢,放大器輸出電壓由表頭指示即可讀得真空度的數(shù)值
3.2 電離部分
該部分由穩(wěn)發(fā)射電流電路,加速極電壓穩(wěn)定電路,微電流放大電路以及規(guī)管除氣電源,規(guī)管保護電路5部分組成。其原理框圖如圖一所示
圖1。 電離部分原理框圖
該部分電路提供了BA規(guī)工作所**須的電源及離子流測量電路
儀器前面板如圖二所示
圖2 儀器前面板示意圖
圖中:
1. 加熱電流調(diào)節(jié)旋鈕。
2. 除氣電流調(diào)節(jié)旋鈕
3. 熱偶部分顯示表頭
4. 電離部分顯示表頭
5. 測量倍率選擇旋鈕
6. 總電源開關(guān)
7. 熱偶加熱電流—真空度顯示轉(zhuǎn)換開關(guān)
8. 電離部分除氣開關(guān)
9. 電離部分電源開關(guān)
儀器后面板如圖三所示
圖3. 儀器后面板示意圖
圖中
1. 電離規(guī)管聯(lián)接電纜插座熱偶
2. 收集極插座
3. 熱偶規(guī)管聯(lián)接電纜插座
4. 電源插座
4 使用方法
4.1 規(guī)管安裝
將規(guī)管封接于真空系統(tǒng)。電離規(guī)管應(yīng)垂直安裝。如因安裝位置影響不能垂直安裝則規(guī)管燈絲平面應(yīng)與重力方向平行。
4.2 熱偶部分使用方法
4.2.1加熱電流調(diào)節(jié)——調(diào)整加熱電流有二種方法:
4.2.1.1 按規(guī)管給出的電流調(diào)節(jié):
按住面板上的熱偶加熱電流—真空度顯示轉(zhuǎn)換開關(guān),調(diào)節(jié)“加熱電流調(diào)節(jié)”旋鈕使電流為規(guī)管給定的電流。
4.2.1.2 調(diào)高真空時的滿度值:
將規(guī)管抽至<10-2Pa高真空,調(diào)節(jié)面板上的“加熱電流調(diào)節(jié)”旋鈕,使表頭指針指向滿度。再按下熱偶加熱電流—真空度顯示轉(zhuǎn)換開關(guān),此時電表指示值即為加熱電流值。
一般情況下,加熱電流為30mA 左右。工作時若需了解儀器工作情況,可按下電流—測量開關(guān),如該值為30mA±1.5mA則視為正常。
4.2.2 真空度測量
將規(guī)管與儀器聯(lián)接好后,電源開啟后,表頭指示即為真空度。
4.3 電離部分使用方法
本儀器發(fā)射電流及放大器的零點及滿度出廠時均已調(diào)整完畢,用戶使用時不需調(diào)整,使用極為方便。
4.3.1 測量真空度:
開機后可將電離規(guī)管離子流測量倍率選擇開關(guān)撥向發(fā)射電流檔,觀察表頭應(yīng)指向中間紅線附近。然后選擇合適的測量倍率,表頭上指示的即為真空度數(shù)值。
4.3.2 規(guī)管除氣
當(dāng)真空度優(yōu)于10-3Pa時,可根據(jù)需要對規(guī)管除氣。具體步驟如下:
4.3.2.1 將電離部分測量倍率開關(guān)拔向“發(fā)射電流”檔;
4.3.2.2 把“除氣電流調(diào)節(jié)”旋鈕按逆時針方向旋到底;
4.3.2.3 按下除氣開關(guān),除氣開關(guān)指示燈亮;
4.3.2.4 緩慢旋轉(zhuǎn)“除氣電流調(diào)節(jié)”旋鈕,觀察加速極轟擊至暗紅為止。電流一般在60mA左右(表頭指示在30mA,即60%左右,除氣時表頭滿度為100mA),**大不要**過80mA(表頭指示在40mA,即80%左右)。注意掌握除氣時間,防止規(guī)管暴裂(一般2~3分鐘,時間不夠可以多次除氣)。
停止除氣時應(yīng)先把“除氣電流調(diào)節(jié)”旋鈕按逆時針方向旋到底,再次按下除氣開關(guān),除氣開關(guān)指示燈滅,然后再把測量倍率開關(guān)拔向合適的量程檔。
4.4 電離部分過量程保護
當(dāng)離子流大于滿量程離子流4倍時,儀器自動切斷電離部分電源。重新啟動前應(yīng)首先檢查量程選擇是否合適。然后開、關(guān)電離開關(guān)一次,儀器恢復(fù)正常工作。
5 儀器成套性
5.1 FH-2復(fù)合**高真空測量儀 一臺
5.2 ZJ —54D 熱偶規(guī)管 一支
5.3 ZJ—6電離規(guī)管 一支
5.4 規(guī)管電纜線 三根
5.5 電源線 一根
6 維護、儲存和運輸
6.1 本設(shè)備在使用過程中**須正確操作和維護,并防止灰塵與潮氣侵入
6.2 在長期使用后應(yīng)作內(nèi)部檢查,**內(nèi)部所積塵污。
6.3 設(shè)備應(yīng)存放在環(huán)境溫度為+10~35 ℃,相對濕度<80%和無腐蝕性氣體及油蒸汽,無強烈電磁場與機械振動,并具有良好通風(fēng)的室內(nèi)。
6.4 運輸時設(shè)備應(yīng)裝在具有防潮袋的牢固運輸箱內(nèi),包裝好的設(shè)備與箱壁間應(yīng)放有清潔干燥的防振物,運輸箱外應(yīng)標(biāo)有“向上”,“小心輕放”等標(biāo)記。